三菱重工業は、大型白色有機ELパネルの製造で、材料利用効率を飛躍的に向上できるリニア蒸発源式インライン製膜装置を開発した。今後は実証機による性能検査を行い、2009年に装置を製品化する方針。またこの装置の概要を、4月11日から東京ビッグサイトで開催される「第17回フラットパネルディスプレイ研究開発・製造技術展」で展示する。

　白色有機EL素子は、有機薄膜に電気を通すと発光する面発光素子で、数百nmの厚さをもつ有機膜と電極で構成されている。照明用有機 ELパネルはディスプレイよりも高輝度が要求され、有機材料を多く使用する必要があるため、材料の利用効率を高めることが実用化への課題となっていた。

　今回開発したリニア蒸発源式インライン製膜装置の実証機は、550mmＸ650mmの基板サイズに対応する。1パネルあたり2分という高速製膜性能を持ち、有機材料の利用効率を従来のポイントセル型蒸発源と比べて50％以上向上することに成功した。装置の製作は広島事業所が担当している。

　今後はメートル級の基板サイズの製造を視野に入れて、実証機の性能検査を進める。また同社は、有機EL照明に適した「マルチフォトン」に関する特許も保有していることから、他社との連携も視野に入れた照明用有機ELパネルの事業化についても検討して行く。

　なお、今回の装置開発は、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の助成を受け、山形県産業技術振興機構有機エレクトロニクス研究所との共同研究により行われた。