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AMAT、台湾に300mmウェーハの再生センターを開設

[issued: 2007.07.02]

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　米Applied Materials社(AMAT)は、台湾に新たに300mmウェーハ再生センターを開設したと発表した。台南サイエンスパーク(台南科学工業園区)に設けられた敷地面積3120m2の同センターでは、三つのクリーンルームと同社のプロセス装置を利用して、最先端のウェーハ再生技術を提供する。
　同社の製造装置とソフトウェアによって、テストウェーハのライフサイクルを45％以上延長し、ウェーハ1枚を11回使用することが可能になるという。これにより、ユーザーは高品質でパーティクルフリーのウェーハをより低コストで利用でき、Siの消費も節減することが可能になるとしている。この他、同センターでは炭素ベースのLow-k膜を含むウェーハを非破壊で再生し、ウェーハからのSi除去を実質ゼロに抑える特許プロセスも備えているという。