ソニーマニュファクチュアリングシステムズは9日、非線形光学結晶にベータホウ酸バリウム(BBO：β-BaB2O4)結晶を使用した波長266nmの遠紫外固体レーザーシステムで、従来比5倍となる1Wでの連続波出力を世界で初めて空冷式で実現したと発表した。今後は45nmプロセスでの半導体ウェーハ異物検査用途に合わせて、2007年末を目処に商品化を進める。また17日から米国サンフランシスコで開催される「Semicon West 2007」に出展する。

　遠紫外固体レーザーは、光源となる非線形光学結晶の劣化と排熱のため200mW以上の出力を得るのは困難とされている。同社でも、独自技術で高品質化したBBO結晶を用いた空冷方式の「Cobaltシリーズ」を展開しているが、「UW-1200A」の200mW出力が最高だった。今回の開発では、BBO結晶のさらなる高品質化とファイバレーザー技術の基本波光源への導入により、UW-1200Aと同等のレーザーヘッド容積、消費電力、空冷方式で、1W出力の3,000時間以上の安定動作を確認した。

　同レーザ-システムの主な仕様は、波長266nm、線幅は縦単一モードで0.001pm以下、長期出力安定性は1時間あたり3％以内、ビーム径は3mm、ビーム発散角は0.4ミリラジアン以下、ビーム品質(M2)は1.3以下。レーザーヘッドユニットの外形寸法は幅240mm×奥行き840mm ×高さ160mm、重さは約42kg、単相AC100V－240V電源で、消費電力は最大で300Wとなっている。