小野測器は、測定範囲を最大で従来比2.5倍にまで拡大できる静電容量式非接触厚さ計「CL-5600シリーズ」を開発した。税込価格は「CL- 5600」が66万1,500円）、ギャップ変換器を外側に分離した「CL-5600S」が81万9,000円。8月1日から受注を、9月20日から出荷を開始する。初年度販売目標台数は200台。

　CL-5600シリーズは、別売の静電容量式ギャップディテクタ「VEシリーズ」5機種と組み合わせることにより、測定範囲を 200μm（表示分解能0.1μm）、500μm（同）、1,000μm（同）、1,500μm（同0.5μm）、3,000μm（同1μm）、 8,000μm（同2μm）から選択でき、最大で従来比2.5倍となった。また、高分解能機能オプション「CL-0200」を活用することにより、各センサの表示分解能をそれぞれ0.02μm、0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.5μm、1μmに向上することができる。

　CL-5600Sは、小型ギャップ変換器を外部に分離したことで、センサ部分と変換器間で1.5ｍ、変換器から表示部の距離を 2.5m、合計4mまで延伸できるモデル。オプションで合計10mまで延伸できるので、装置への組み込みが容易になり、金属板製造ラインにおける厚さ測定やデジタルギャップ測定などの用途に対応できるようになった。

　この他オプションとして、アナログ出力とコンパレータ出力に対応する「CL-0100」、絶縁体測定ソフトウェア「CL-0300」を準備した。大きさは本体が幅210mm×奥行き276mm×高さ99mm、CL-5600Sのギャップ変換器は幅56mm×奥行き42.4mm×高さ 122mm。

　静電容量式非接触厚さ計は、測定対象の表面とギャップディテクタのセンサーで電極を形成し、その電極間の静電容量を元に距離を計測する。シリコンウェーハ、ハードディスク用アルミ板、銅張り積層板など接触を嫌う測定対象の厚さ測定、ガラス、プラスチック、フィルムなど比較的薄い素材表面の均一性の測定に用いられる。