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米アプライド、大型ガラス基板のシリコン薄膜太陽電池の製造ラインを発表
[issued: 2007.09.05]
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シリコン薄膜太陽電池モジュールの 一貫製造ラインApplied SunFab Thin Film Line
Applied SunFab Lineは、フラットパネルディスプレイの製膜に量産実績があるPECVD（プラズマCVD）やPVD装置などのプロセス装置、オートメーション、排気除害などのシステム技術を組合せ、シングルジャンクションとタンデムジャンクションのいずれにも対応できる設計になっている。
PECVD（プラズマCVD）装置
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連絡先 アプライド マテリアルズ ジャパン
コーポレート マーケティング部
TEL：03-6812-6807
FAX：03-6812-6833
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参考 アプライド マテリアルズ（ホームページ）
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