米Cognex社（コグネックス）は12月5日、SEMICON Japan 2007においてウェーハの位置と向きを画像処理により測定するウェーハプリアライナー「In-Sight 1820」を発表し、発売を開始した。同社独自の画像処理アルゴリズムNotchMaxを搭載することで、撮影したウェーハ全体の画像を解析し、ウェーハのX、Y方向の位置を±15μm、回転角度を±0.050°の精度で検出し、575msと短時間でウェーハの位置決めを行えるのが特長。直径150mm、200mm、300mm、ノッチ有・無、パターン有・無のウェーハに対応する。価格は約50万円（税別）である。

　一般的に従来の機械式プリアライナーでは、測定時にウェーハを高速で回転する必要があり、ウェーハの下側をバキュームで強力に吸ったり、ウェーハのエッジを数カ所でおさえて回転台に固定しなくてはならない。そのため、バキュームによるウェーハの裏側の損傷や、ウェーハの端をおさえることでウェーハの薄膜コーティングにひびが入るなどの問題が生じていた。また、機械式プリアライナーではウェーハの回転によるコンタミの吸着や、固定時のウェーハ損傷により生じるコンタミが問題とされていた。これに対し、In-Sight 1820は、ウェーハの位置と向きを非接触で回転させずに測定できるため、これらの問題を低減することが可能である。

　測定では、発光用の緑のバックライトとIn-Sight 1820の間に配置したウェーハのエッジをバックライトが照らし、その時にIn-Sight 1820が撮影した画像をアルゴリズムが解析し、ウェーハの位置と向きを確定する。バックライトとウェーハの間に搬送ロボットのアームがあり、そのアームによりバックライトの光でウェーハのエッジの25％を照らすことができなくても、測定精度には影響しないという。
（大村　泰憲）