THKは、12月5日から7日に開催されたSEMICON Japan 2007で、クリーン環境用LMアクチュエータCGL形、リニアモータアクチュエータKLM15形、超薄型アライメントステージCHX形を発売した。

　クリーン環境用LMアクチュエータCGL形は、LMアクチュエータGL-N形のクリーン対応型で、クリーンルーム用のAFE-CAグリースを採用し、塵埃が外部に漏れないように全面カバーを付加した。ベース長さは最大1,780mm、ストロークは最大1,550mm、最高移動速度2,000mm/秒、繰り返し位置決め精度0.02mmを実現し、クリーンルーム内の搬送装置向けの需要を見込んでいる。価格は50万円。

　リニアモータアクチュエータKLM15形は、ボールねじ駆動のLMガイドアクチュエータKR15形と断面寸法が同じ幅65mm×高さ25mmで、リニアモーターを採用したことによりKR15形に比べ3倍の速度で動作することができ、半導体やフラットパネルディスプレイの検査装置向けに製品化された。ユニット長は220mm～520mm、ストローク長が50mm～350mmで、最高速度1.5m/秒の性能を実現している。価格は60万円。

　超薄型アライメントステージCHX形は、テーブルサイズが250mm～1,500mmのCMX形7機種より小型の製品で、100mm、160mm、125mm、200mmの4機種を製品化した。CHX形は、中間サドルを必要としない予圧型フレキシブル平面軸受（PFB）を採用し、高さ35mmから60mmの薄型で高精度、高剛性を実現し、光学機器、医療機器、超精密機器などの位置決めステージとして需要を期待している。価格は100万円。