富士フイルムは1月、0.05MPaから0.2MPa（0.5～2kgf/cm²）という低圧力領域の測定が可能な「プレスケール微圧用ツーシートタイプ」を発売した。半導体や液晶パネルの製造装置向けなどに展開する。価格はオープンだが、標準価格は1セットで4万5,000円前後と見られる。

　プレスケールは、測定したい部分に挟み込んで圧力を測定できるフィルムで、製造装置のプレス圧のバランスや金型の並行度の確認などに使用されている。今回の製品により、測定可能な圧力領域の下限が従来の0.2MPaだったところを0.05MPaにまで広げた。半導体ウェーハの研磨圧力確認、高真空下での液晶ガラス基板の貼り合わせ、各種ラミネーション工程での圧力分布の確認など、圧力分布にシビアでメンテナンス頻度も高い用途に最適としている。

　プレスケールは、AフィルムとCフィルムの2種類のPETベースのフィルムで構成され、Aには発色剤を封入したマイクロカプセル、Cには顕色剤を塗布している。2つのフィルムの塗布面を合わせて使用し、圧力を受けるとマイクロカプセルが破裂し、顕色剤が発色剤を吸収して赤く発色する。今回の製品は、マイクロカプセルを均一に、かつ壊れないように塗布する技術を開発して、わずかに触れる程度の低い圧力に対応する高感度化を実現した。

　新製品は有効幅310mm×3m巻のロールて、AフィルムとCフィルム各1本の計2本で1セットになる。使用推奨温度と湿度は、それぞれ15℃～30℃、20％RH～75％RH。プレスケールは新製品を含めて8品種となり、0.05MPa～300MPaの領域で圧力を測定することが可能になった。