みずほ情報総研、日本ユニシス・エクセリューションズ、数理システムの3社は12日、国内初となる統合型MEMS用設計・解析ソフトウエア「MemsONE」を発売した。価格は、現在主流となっている海外製ソフトウエアの3分の1～5分の1を設定する。財団法人マイクロマシンセンターが頒布する大学・公的研究機関向けを含めて、今後3年間で1,000ライセンスの普及を目指す。

　MemsONEは、経済産業省と新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）が、2005年度から3年間の計画で開始した「MEMS用設計・解析支援システムの開発プロジェクト」内で開発された、国内製としては初となるMEMS設計に特化した統合型シミュレーションシステム。みずほ情報総研、日本ユニシス・エクセリューションズ、数理システムの3社は、開発への貢献を背景に、商用ライセンスを取得しており、民間企業向けへの販売展開を進める。現在、MEMSの設計・解析には欧米製のソフトウエアが利用されているが、価格を大幅に引き下げることで、拡大するMEMS市場への浸透を図る。

　MemsONEの開発は、日本ユニシス・エクセリューションズが全体を統合管理するGUI環境の「フレームワークソフト」を、みずほ情報総研が「機構解析シミュレータ」、「プロセス解析シミュレータ」、「「ウェットエッチング解析シミュレータ」、「ナノインプリント解析シミュレータ」を、数理システムが「プロセス逆問題解析ソフト」、「MEMS回路シミュレータ」を担当した。また、マイクロマシンセンターが開発した「知識データベース」と「材料プロセスデータベース」が活用でき、MEMSプロセスに精通していない技術者でも、設計から試作評価までをカバーできる構成になっている。

　製品の基本構成は「フレームワークソフト」、構造・機構、電磁場、熱伝導などの数値解析を行う「機構解析シミュレータ」、MEMS加工プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析シミュレータ」および「ウェットエッチング解析シミュレータ」とデータベースで、その他のソフトはオプションとして提供する。