オムロンは、定置型燃料電池システムの燃料ガスと空気の流量の最適化に利用するMEMS（微小電子機械システム）フローセンサを4月から発売する。パッケージ材料を従来の金属に代えて難燃性樹脂を採用したほか、配管接続を従来のネジ式から配管の容易なクイックファスナー式に変更することで工数費用の削減と作業の均一化を目指すなど、量産時のコスト削減を意識した設計となっている。価格はオープン。

　新製品の型番名は「形D6F　MEMSフローセンサ（クイックファスナタイプ）」。都市ガスやLPガスから水素を取り出す家庭用の定置型燃料電池システムで、燃料ガスと空気の流量を測定する用途に使用する。気体の流量センシングに用いるMEMSセンサーは、1.55mm角、厚さ0.4mmと世界最小クラスで、1cm/秒以下の微流速計測がが可能なほど高い感度を持つ。また、フローセンサ内の流路設計を工夫することで、出力電圧の高い直線性を実現しており、直線性補正のための調整工数も削減できるようにしている。測定範囲は、都市ガスで0～5リットル/分、LPGで0～2リットル/分、空気で0～20リットル/分。定置型燃料電池以外にも、半導体製造装置や医療機器のフローセンサとしても利用できる。