エスアイアイ・ナノテクノロジーは、微少部の微量金属を短時間で高感度に測定でき、液体窒素が不要なエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置「SEA6000VX」を発売した。蛍光X線分析装置はRoHS指令などの環境規制に対応するための部品や製品の検査装置として使用されているが、実装基板など複合構成部品を分解せずに特定部位の測定や基板全面の有害物質管理に対応可能な装置が求められている。

　SEA6000VXは、従来5mm～10mm程度の分析エリアで行っていた微量有害物質測定を、0.5mm～1.2mm程度の微少エリアで実施することを可能にした。0.2mm×0.2mmの面積の金、ニッケル、銅などの薄膜多層めっきの膜厚であれば、10秒程度で測定できる。この装置は同社の液化窒素レスの半導体検出器Vortexと新設計の上面照射型空冷X線管（50kV、1mA）により従来機種の10倍以上の感度を実現し、2系統のCCDカメラにより250mm×200mmの測定エリア全域で20μm以下の光学像の取得を可能にした。

　また、高速電動X-Yステージを組合せることにより、測定エリアにおける二次元元素マッピングを高速化した。これにより100mm×100mmの実装基板で、サブミリサイズの共晶はんだを2分程度で検出でき、マッピング回数を増やすことにより基板全面においてRoHS指令の規制値の1,000ppmレベルの鉛を30分ほどで検出可能。最大試料サイズは、幅580×奥行き450×高さ150mm。予定価格は税別1,800万円から。