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大日本印刷、微小液滴を1個レベルで取り出せる低価格マイクロ流路チップを開発

[issued: 2008.07.29]

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 大日本印刷は、微小電子機械システム(MEMS)技術を応用したマイクロ流路チップを開発し、大学・研究機関、医療機器メーカー、製薬会社、電機メーカー向けに低価格サンプルの提供を開始した。同社は2007年に、東京大学の竹内昌治准教授の研究グループとシリコンとガラスを用いたマイクロ流路チップを共同開発した。今回は従来の6インチウェーハより大型の8インチウェーハ上に、4種類のマイクロ流路パターンを形成した。これらは、くぼみ上に10,000個の微粒子をトラップして1個レベルで取り出したり、全数一括取り出しが可能なチップ、マイクロメートルサイズの水や油の均一な微粒子を形成できるチップ、微小液滴を1個レベルで取り出せるチップで、医薬品や化学薬品の開発や製造に応用することが可能。

 マイクロ流路チップは、ガラス/シリコン/ガラスの無機材料の3層構造で、シリコン深掘り技術により中間のシリコン層を貫通エッチングして流路を形成しているため、透過観察が可能になっている。バイオMEMS作成でよく使われるポリジメチルシロキサンなどの有機材料と比べ硬度と耐熱性が高く、圧力による変形や有機溶剤による膨張や腐食もない。また、8インチウェーハを使用したため、50×100mmの大型チップを製作でき、量産による低コスト化も可能になった。同社は基本デザインのサンプル1枚を、税込み3,000円で提供する。

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