山武は、デジタルマスフローコントローラCMQ-Vシリーズ微小流量モデルに、水素とヘリウムに対応したCMQ-Vシリーズ「水素」微小流量モデルを追加し、販売を開始した。2008年1月に発売したCMQ-Vシリーズ微小流量モデルは、新開発のMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）フローセンサーにより、ガス供給圧力変動、背圧変動、炉内圧力変動の影響を受けずに、安定した高速流量制御を実現した。

　新製品は、水素とヘリウム専用に開発され、1分あたりの制御レンジが0.2mLから20mLのMQV9020と同0.4mLから50mLのMQV9050の2機種を用意した。携帯電話、ノートパソコン、デジタルカメラなどの携帯機器に普及が期待されるマイクロ燃料電池セルの分離膜の評価試験をはじめ、真空炉、各種成膜装置、研究機関の実験など微小流量の制御を行う必要があるアプリケーション向けに年間1000台の販売を目指す。価格は1台23万円から。