「PHASERシリーズMF20/30」は、リニアモータを採用した、コンパクトで高推力かつ可動ストロークの大きい単軸ロボット。2007年1月10日より発売する。フラットタイプリニアモーターを採用し、150mm×80mmのフレーム断面の中にコントローラなど主要部品全てを集約。限られたスペースで効率の良い駆動を実現する。従来のボールねじ駆動タイプのような複雑な構造を必要とせず、シンプルなダイレクトドライブ構造でモーター出力の高効率な伝達を可能とした。また、同軸上に複数のキャリアをセットすることで、設置面積の省スペース化を実現した。アブソリュート処理回路を持つリニアスケールを新開発し、機械への電源投入時の原点出しを不要にした。また、機械的なバックラッシュ、検出・制御系の誤差や遅れなどの外乱要素を排除することができ、位置決め精度±5μmの高精度を実現した。可搬質量は20kg（MF20）、30kg（MF30）、定格推力は86N（MF20）、125N（MF30）。ストロークは最長4,000mmまで対応。最高速度2,500mm/secを達成している。自動生産設備などの高性能直交ロボットの軸の構成要素として今後のロボット市場を拡大していくことが期待される。

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