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2004年09月27日
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THK、リニアモータ採用の半導体製造装置向けアクチュエータを発売
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THKは、半導体製造装置やバイオ分野向けに、最高速度2.0m/秒、加速度2Gのリニアモータアクチュエータ「KLM46」を開発し、販売開始した。
同社既製品、LMガイドアクチュエータ KR形、ボールリテーナ入り LMガイドアクチュエータ SKR形は、駆動部にボールねじを採用しているため、最高速度やストロークなどに制限が生じるケースがあった。同製品は、高剛性、コンパクトな両シリーズの特徴を受け継ぎ、リニアモータの採用、レールとブロックの一体化により小型化を実現。高速、ロングストローク対応を可能にした。
オーバーハング荷重に対する剛性の高いU字形断面形状のLMレールを採用し、底面にマグネットの固定子を配置することで、高剛性、小型化を実現した。ボールリテーナ入りガイドの採用によりボール同士の衝突がなく低騒音で、摩擦がないために塵の発生が少なく、長期間メンテナンスが不要になった。
今回発売したのは、最大推力150NのKLM46-Sタイプと、最大推力330NのKLM46-Mタイプ。ユニット長は、666、766、866、966、1066、1166、1266mmの7種類となる。標準価格は63〜77万円。
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