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2004年11月17日
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ニコン、小型電子部品向けと大型FPD向けのCNC画像測定システムを上市
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CNC画像測定システム「NEXIV VMR−1515」
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ニコンは、金型やプリント基板、プレス品や小型の電子部品を非接触で高精度に測定するCNC画像測定システム「NEXIV VMR-1515」と、従来機種よりステージのストロークを拡大し、大型フラットパネルの測定に最適な「NEXIV VMR-12072」を開発した。電子部品向けのVMR-1515は2005年1月初旬に、大型FPD向けのVMR-12072は2005年2月初旬に販売を開始する。販売予定台数はVMR-1515が初年度100台で、VMR-12072は受注生産となる。
両製品は、光学測定技術とコンピュータによる画像処理技術により、各種精密機器・電子部品などの寸法･形状を高精度に自動測定する装置。CCDカメラで取り込んだ画像から被検物のエッジを検出し、データ処理することで、複雑な形状の部品でも測定できる。
VMR-1515は、現行製品系列の光学系、オートフォーカス機能、画像処理機能、ソフトウエアなどを継承しつつ、小型部品用途に最適なストロークの小型ステージを採用した。高精度･高スループットを実現しながら、製品系列の中でも最も低価格で提供できる。小型ステージにより駆動最高速度は200mm／秒、サンプリング、信号処理、制御など動作の高速化と処理時間を短縮した。
NEXIV VMR-12072は、大ストロークタイプのVMR-10080よりもX方向のストロークを200mm拡大しており、45インチクラスの大型FPDの測定にも対応している。
主な仕様は以下の通り。
【VMR-1515】
・形式：シングルコラム・XYステージ型
・ストローク（X×Y×Z）：150×150×150mm
・ガイド方式：クロスローラ・ガイド（X、Y）、LMガイド（Z）
・測長方式：透過型リニア・エンコーダ
・XY測定精度：1.5＋4L／1,000μm（U1XY）、2.5＋4L／1,000μm（U2XY）
・測長最単位：0.0001mm
・駆動最高速度：200mm／秒（X、Y）、50mm／秒（Z）
・駆動最低速度：0.01mm／秒（X、Y、Z）
・被検物耐久保障質量（重さ）：20kg
・大きさ：約512（W）×1,200（H）×703（D）mm
・質量（重さ）：約180kg
【VMR-12072】
・形式：ブリッジ・固定ブリッジ型
・ストローク（X×Y×Z）：1,200×720×150mm
・ガイド方式：LMガイド（X、Y）、LMガイド（Z）
・測長方式：透過型リニア・エンコーダ
・XY測定精度：2.2＋4L／1,000μm（U1XY）、3.2＋4L／1,000μm（U2XY）
・測長最単位：0.0001mm
・駆動最高速度：300mm／秒（X、Y）、50mm／秒（Z）
・駆動最低速度：0.01mm／秒（X、Y、Z）
・被検物耐久保障質量（重さ）：40kg
・大きさ：約1,734（W）×1,750（H）×2,200（D）mm
・質量（重さ）：約1,600kg
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