安川電機、多関節アーム機構を採用したウェーハ搬送ロボットを開発

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DNニュース

2004年11月30日

安川電機、多関節アーム機構を採用したウェーハ搬送ロボットを開発

　安川電機は、300mmウェーハ対応の搬送ロボット「MOTOMAN-RC1000G」を開発し、2004年12月1日から販売を開始すると発表した。

　同製品は、多関節アーム機構を採用したことで、アームを伸ばした際のロボット旋回中心からロボットアーム先端のハンド取り付け中心までの到達範囲を1,076mmに拡大した。これにより、搬送機構の中でもっとも大きな発塵の原因だった走行機構をなくし搬送することを可能にした。ロボット全体を移動させる際に大きな気流の乱れも発生しないため、周囲の塵がウェーハに付着する可能性を最小限に抑えている。

　アーム全体を折りたたみ、旋回動作姿勢を非常に小さくできる。そのため、アームを伸ばせばロングリーチ、たためば小回りの効く動作姿勢となり、広い搬送領域と小さな動作範囲の両立を実現している。これにより、装置内のロボット干渉スペースを小さくし、レイアウトの自由度も上げ、装置全体をコンパクトに設計できる。

　さらに、単腕でありながらアーム先端に2つのハンドを装備できる。それぞれにモーターが接続され、個々の回転動作ができる。これら2つのハンドの使い方で、処理前・処理後を区別したウェーハ搬送や、処理室にあるウェーハを取り出し新たにウェーハをセットする入れ替え作業を1度に行えるなど、さまざまなアプリケーションに柔軟に対応し、かつ高い搬送効率を実現している。

　価格は450万円で、1,000台／年の販売を予定している。また、幕張メッセで開催される「セミコンジャパン2004」に展示する予定。

MOTOMAN-RC1000G

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