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ボールSAWセンサー拡大写真
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凸版印刷と東北大学はボールSAWセンサーの評価キットを開発した。ボールSAWセンサーを8個まで同時に駆動させて、USB経由でPC上で制御、信号解析できる。評価キットは外寸8×12×13cmで、ラック一つ分を手軽に持ち運べるサイズに小型化した。将来的にはこの評価キットの1チップ化を目指すという。
ボールSAWセンサーは1999年に凸版印刷と東北大学の山中一司教授が発明した超高感度、超小型センサー。直球1mm程度の水晶ボール素子の表面を高い周波数の振動が数百周伝搬する特性を利用し、球表面の感応性薄膜の物性変化を検知させるセンサー。ボールに塗布する感応膜を変えれば、異なる機能を持たせることが可能だ。
評価キットと同時に展示された燃料電池用水素センサーは、米BallSemiconductor社の球状半導体技術を適用した東北大学と山武、米Ball社の共同開発品。水素ガス濃度0.001〜100％の非常に広範な測定範囲が特長。
今回開発された評価キットを活用して、燃料電池システムに必要な水素濃度、漏れ検知、運転制御のための温度や湿度、ガス類の計測などのニーズを盛り込み開発を加速中。2005年度後半には燃料電池開発用測定システムとして共同開発先メーカーへ提供する予定。
さらに、凸版印刷は東京工業大学と共同で、次世代センサーとして注目を集める匂いセンサーの開発も開始した。主な用途としては、爆発物検知などのセキュリティ分野や、家庭用ロボットの嗅覚機能が考えられる。今回の試作品は、直径3mmの素子を10個集積しているが、今後直径1mmの素子を集積してセンサーを5mm角まで小型化する。
また出展されたボールSAWセンサーは、7/4〜7/6に初開催されたオルガテクノ2005（有機テクノロジー展/有機テクノロジー国際会議）にてデバイス部門賞を受賞した。
（山下徳里子）
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