最高出力412WのFPD製造装置向け固体グリーンレーザー

Design News（US） | Design News(China)

無償配布申し込み・変更

Email Newsletter申し込み


DNニュース

2005年07月07日

最高出力412WのFPD製造装置向け固体グリーンレーザー

　三菱電機は、最高出力412Wのフラットパネルディスプレイ製造装置向け固体グリーンレーザーを開発した。レーザーのパルス発振周波数を8kHzに高め、従来と同等の装置寸法と保守性を維持しつつ、約2倍の高出力化を実現したもの。

　フラットパネルディスプレイを高性能化するため、製造工程ではレーザーアニールが普及しはじめた。これまでは、レーザーアニールとして主に気体レーザーの一種であるエキシマレーザーが用いられていた。近頃は、ガス交換が不要で保守性の高い固体グリーンレーザーの採用が進みつつある。

　同社は固体グリーンレーザーにおいて、従来4kHzだったレーザーのパルス発振周波数を8kHzに高め、レーザーアニールに必要な集光性と50mJ／パルス以上というパルスエネルギーを維持したまま増幅する高出力化できる技術を開発。その結果、従来と同等の装置寸法と保守性を維持して、従来比約2倍の高出力、412Wを実現した。

　また、小型レーザー励起モジュールでレーザーを発生させた後、大きさの異なる大型レーザー励起モジュールによる増幅技術の開発も、小型化、高出力に貢献している。

　同社は同レーザーの開発にともない、国内で9件、国外で1件の特許を出願した。開発の成果は、東京都千代田区の日本都市センター会館にて開催されるCLEO-Pacific：The Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics 2005で、7月12日に発表する予定だ。

大型励起モジュールを採用した400W級グリーンレーザーの構成

参　　考：三菱電機(プレスリリース)[PDF]