寿命2,000時間の高強度・短波長紫外線向け光強度測定用センサー

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DNニュース

2005年08月10日

寿命2,000時間の高強度・短波長紫外線向け光強度測定用センサー

　
　神戸製鋼所は、寿命が従来品の100倍以上長い高強度・短波長紫外線向け光強度測定用センサーを開発した。2,000時間使用した時点で、センサー感度変化は5％以内に収まる。すでに岩崎電気の紫外線照度計に採用されているほか、現在数社で紫外線照度計や高強度・短波長紫外線照射装置に組み込むための評価を受けている。

　液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのFPDは、製造工程でキセノンエキシマランプや低圧水銀ランプなどの高強度(10-50mW/平方cm)かつ短波長(140nm～227nm)の紫外線を照射する。重要な工程であることから、紫外線ランプが性能劣化することなく機能していることを確認するために、紫外線センサーを用いている。

　しかし紫外線の強度が高いため、従来の蛍光ガラスやシリコンによるセンサーでは材料が変質劣化して測定不良を起こすなど、長時間の連続測定には耐えられなかった。そこで、紫外線ランプを連続的に検査することをやめて間欠モニタリングしたり、寿命に至る前に紫外線ランプを交換したりするなどの対応がとられる。

　同社の開発したセンサーは、蛍光ガラスやシリコンに比べ変質劣化が小さい人工ダイヤモンド膜と白金電極を使用し、ダイヤモンド膜中の通電量の変化によって紫外線の強度を測定する。さらに、センサーの不安定化要因となる湿度や、紫外線によって発生するオゾンの影響を防ぐ構造を改良したことで、紫外線ランプの寿命と同等の約2,000時間という長寿命を実現した。

　これにより、キセノンエキシマランプや低圧水銀ランプが使われる高強度紫外線照射装置への組み込みと、ランプ光強度の連続モニタリングが可能となる。

　将来的には、半導体製造用露光装置に用いられる紫外線レーザーの積算光量モニターや、極短波長紫外光源向けなどへの製品展開を図る。

開発した高強度紫外線向け光強度測定用センサー

センサーの構造と動作機構

参　　考：

神戸製鋼所(プレスリリース)