最大100MPaまで測定できる水晶振動子による高精度圧力センサー

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DNニュース

2005年11月14日

最大100MPaまで測定できる水晶振動子による高精度圧力センサー

　
　エプソントヨコムは、水晶振動子による高精度圧力センサー｢TSUシリーズ｣を発表した。双音叉水晶振動子の使用により、高感度でありながら優れた再現性およびヒステリシス、温度特性を実現している。測定可能な圧力範囲に応じ、0kPa～100kPaはTSU-10GL、0kPa～200kPaはTSU-20G、0kPa～700kPaはTSU-70G、0MPa～1MPaまで計測できるTSU-100Gの4製品を用意する。サンプル出荷は11月下旬に始める。サンプル価格は40万円／個。

　同センサーは、水晶振動子の周波数が圧力によって変化する現象を利用したもの。優れた安定性と速い応答性を有する双音叉水晶振動子を採用したことで、高感度かつ高精度で再現性、ヒステリシス、温度特性に優れた圧力測定が可能となった。

　発振回路を内蔵し、周波数を出力できる。そのため、ケーブル長による影響を低減させ、機器などへの組み込みが容易。高精度な圧力測定が要求される製造装置、ダムや河川の水位モニターなどの環境計測機器、さまざまなセキュリティシステムなどにも対応できる。

　同社では、11月15～18日に東京ビッグサイトで開催されるINCHEM TOKYO 2005、プラントショーにおいて、中央化工機商事のブースでデモンストレーション機器と同センサーを展示する予定だ。

双音叉水晶振動子を使用した高精度圧力センサー｢TSUシリーズ｣

参　　考：

エプソントヨコム(プレスリリース)