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オリンパスは、共焦点光学系を用いた走査型赤外レーザー顕微｢LEXT OLS3000-IR｣を発表した。走査型共焦点光学系の採用により、ピントの合った面だけを高解像度で、しかもハイコントラストな画像で観察できるのが特長。その結果、従来の赤外線顕微鏡ではなかなか困難だったフリップチップボンディング(Flip Chip Bonding)後のICチップパターンとその裏面や、MEMSの内部構造なども高コントラストな画像で調べることができる。税込み価格は1,207万5,000円で、2006年1月5日から販売を開始していく。
共焦点光学系は、結像面上に配置されたピンホールで照明光を点光源とし、標本で反射した光を点検出器で検出するもので、合焦面だけを観察できる特徴を備える。
従来の赤外線顕微鏡でICチップの裏面を観察すると、周辺から入る可視光によりICチップ表面上で乱反射し、画像のコントラストが下がる現象が起きていた。OLS3000-IRは、走査型共焦点光学系を用いることにより、ピントの合った面だけを高解像度かつハイコントラストに観察できる。
さらに、従来の共焦点光学系に赤外線光学系を組み込むことで、ICチップ裏面の3次元形状測定も可能にした。フリップチップ実装後の非破壊不良解析やChip On Chipのギャップ計測への対応もできる。
同製品は、12月7日から9日に幕張メッセで開催されるセミコンジャパン2005に出展される。
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