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2005年12月09日
光の当たるところだけ硬化する樹脂
PIMELは、半導体素子の表面を保護する感光性ポリイミド。光に反応して硬化する。光に当たらない部分は硬化せず、現像液に浸すと洗い流せるため、光が当たった部分だけが残りパターンが形成される。同製品を使うことで、非感光性ポリイミドを利用した場合に必要だったフォトレジスト工程が不要になる。一工程省くことで、スループットを増やせる。
感光性ポリイミド「PIMEL」
連絡先 :
旭化成エレクトロニクス 電子材料事業部
TEL:03-6911-2720 FAX:03-6911-2748 E-mail:
akemd@om.asahi-kasei.co.jp
参 考 :
旭化成エレクトロニクス(ホームページ)
関連記事 :
2005年7月25日−ハロゲン、リン系化合物を含まない難燃性ソルダーレジスト
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