時間に対する特性変動0.01％以内、ヒステリシス0Vの安定したCNTトランジスタ

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DNニュース

2006年03月01日

時間に対する特性変動0.01％以内、ヒステリシス0Vの安定したCNTトランジスタ

　
　産業技術総合研究所(産総研)と大阪大学は、従来に比べ1,000倍以上安定して作動するカーボンナノチューブ(CNT)トランジスタの開発に成功した。フォトレジストの残渣がCNTトランジスタの特性を不安定化していることを突き止め、この特性の変動要因を取り除く新しい製造プロセスを開発したことで、変動を0.01％以内に抑えた。

　これまで開発されてきたCNTトランジスタは、特性が時間や電圧の値に対して大きく変動するという欠点があり、実用化する上で大きな障害となっている。こうした不安定性の原因は、CNT表面に付着した水や酸素の汚染によると考えられていた。そこで、水や酸素をCNTから完全に取り除いてトランジスタを作っても、実用に耐えるほど安定した特性は得られなかった。

　大阪大学と産総研は共同で研究を進め、不安定性の原因としてフォトレジストの残渣も重要であることを突き止めた。こうした変動の要因を取り除いてCNTトランジスタを製造したところ、時間に対する特性の変動は0.01％以内、ヒステリシスの値が理想的な値である0Vと、実用化可能な安定動作を実現できた。

　産総研では｢(CNTトランジスタの安定性を高める)この技術の開発によって、CNTトランジスタで高感度バイオセンシングや単一バイオ分子検出などが可能になる｣としている。

カーボンナノチューブトランジスタの構造図

カーボンナノチューブ周辺に水、酸素、レジストが付着

カーボンナノチューブ周辺の不純物を完全に除去

カーボンナノチューブを保護膜でカバー

連絡先：

産業技術総合研究所広報部　広報業務室　菅原　敏之
電話：029-862-6216　FAX：029-862-6212
E-mail：presec@m.aist.go.jp

参　　考：

産業技術総合研究所(プレスリリース)

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