クリーンルーム内で使用可能な低発塵性のISOクラス5対応導電性ワイパー

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DNニュース

2006年04月24日

クリーンルーム内で使用可能な低発塵性のISOクラス5対応導電性ワイパー

　
　三菱製紙とテイカは、クリーンルーム内で使用可能な低発塵性の導電性ワイパーを共同開発した。同ワイパーの表面抵抗値は1×10の6～8乗Ω／平方cmで、ISOクラス5(クラス100)対応が可能となる。導電性層は基材に対する密着強度が強く、脱離による発塵が極めて少ない。

　プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ、各種半導体などの電子機器製造分野では、製品の歩留まりに大きな影響を及ぼす微細な埃やゴミを除去する目的で、ワイパーを使用する。ただし、一般的なワイパーでは拭いた跡に静電気が発生し、逆にゴミを集めやすくなるため、静電気を発生させない導電性が必要となる。

　共同開発した導電性ワイパーは、ナノ粒子レベルの導電性ポリマーをシート表面に形成させるテイカの製造技術と、三菱製紙の高機能化ワイパー製品「ナノワイパー」に関する技術などを組み合わせた。この導電性機能を持つナノ粒子レベルのポリマーは3次元ネットワーク構造を形成していると考えられ、この効果により、少量の導電性高分子ポリマーでもワイパーに高い表面導電性が現れる。

　また、従来の界面活性剤を含浸させた導電性ワイパーよりも耐久性に優れ、繰り返し使うことができる。導電糸を織り込んだ導電性ワイパーと異なり、エッジ部を熱融着する際のカーボン粒子脱落は発生しない。

　両社は、クリーンルーム内で使用する清掃用途を始め、導電性機能や帯電防止機能を必要とする用途を対象都市、5月より本格的に市場展開を図る。両社は同市場の規模を現在2億円で、将来10億円に拡大すると見込む。

開発した導電性ワイパーの表面

使用した導電性高分子ナノ粒子

参　　考：

三菱製紙　開発事業部　不織布開発事業室
担当：兵頭　建二、重松　俊宏
TEL：03-3213-3731

テイカ　大阪研究所
担当：戸澤　正明、江上　賢洋
TEL：06-6555-3260

参　考：

三菱製紙(ニュースリリース)

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