キヤノンプレシジョンは、繰り返し精度5ナノメートルの位置決めステージの受注を開始

　キヤノンプレシジョンは、超音波モーターを駆動源とするアクチュエータにより、繰り返し位置決め精度を従来の10ナノメートルの2分の1の5ナノメートルに微細化した位置決めステージシステムを開発し、受注生産を開始した。アクチュエータは超音波モーターとボールねじをリジッドカップリングで直結したもので、49Nの保持力をもち無通電状態でも摩擦力を維持することができる。新システムは、位置決めステージに内蔵されたエンコーダのスケールピッチを従来の2分の1の2ミクロンにし、制御回路と制御ソフトウエアを高速化して、5ナノメートルの分解能を実現した。
　位置決めステージ(US120-H5)は、120mm×120mmの大きさで、50mmの移動量に対応でき、コントロールボックスのUSC500のRS232Cインタフェース(逓倍器付き)で制御できる構成になっている。同社は、テーブルサイズや移動量については、カスタマイズに対応する意向で、次世代半導体、次世代光ディスク、光物性、ナノインプリントなどの研究開発用途に、需要を見込んでいる。この製品は9月20日から3日間、宇都宮大学で開催される2006年度精密工学会秋期大会の先端技術展示に出品を予定している。

超音波モータ駆動5ナノ位置決めステージシステム 写真手前：位置決めステージUS120-H5 　　左奥：コントロールボックスUSC500 　　右奥：逓倍器