日立と神奈川大学、プラスチック基板にトランジスタ電極を形成する印刷製法を開発

　日立製作所と神奈川大学は、プラスチック基板上に有機薄膜トランジスタの電極を形成する印刷製法を開発した。この印刷製法では、ポリカーボネートの基板上にゲート電極を作成した後、新開発の感光性単分子膜を塗布してから基板の裏面から光りを照射し、液体の導電性高分子材料を回転塗布すると、光に感光した単分子膜上にのみソースとドレイン電極が形成される。薄くて曲がるプラスチック基板上に有機トランジスタを形成できれば、軽量のシートディスプレイなどの開発が可能になるが、従来の光リソグラフィでは歪曲する基板上に形成したゲート電極の上層に形成するソースとドレイン電極の位置がずれる問題を抱えていた。
　日立と神奈川大学は今回、プラスチック基板の裏面から透過する光に反応して、撥水性から親水性に変化する感光性単分子膜を開発した。この材料によりゲート電極の上部以外の部分が親水性になり、親水性の単分子膜上にのみ電極の材料となる溶液を塗布できるようになった。実験では幅20マイクロメートルのゲート電極に対し、合わせずれなしに上部電極を形成できた。日立はこの技術を、大面積のシートディスプレイやRFICタグの電子回路をプラスチック基板に直接形成する量産技術に発展させる意向。