日立、ナノインプリントの生産性を約100倍向上させる技術を開発

　日立製作所は、池上金型工業、日立プラントテクノロジーと共同で、微細パターンの転写加工の生産性を約100倍向上するシートナノインプリント技術を開発した。ナノインプリント技術は、微細な凹凸パターンを樹脂薄膜フィルムなどに転写する成形加工技術で、半導体製造技術などと比べて低コストでナノスケールの構造を製作することができる。従来は平行平板のプレスにより成形していたため、大面積への転写や連続加工には不向きで大量生産に課題を残していた。
　新技術は、ベルト状の薄板ステンレスの表面にニッケルめっき箔で直径200nm、高さ280nmの柱状構造を多数形成した金型を製作し、上下で回転する金型ベルトの間で樹脂フィルムを同期搬送しながら加熱、加圧転写、剥離の各工程を連続して行う装置により、長さ15mのフィルムに連続転写することに成功した。この工程では真空引き、昇温、降温のための時間が不要で、高い生産性で大面積への転写を行うことができる。
　新開発のナノインプリント技術は、ディスプレイパネルの光学シート、燃料電池の電解質膜、ナノバイオ分野の細胞培養シートなどに応用展開が期待できるという。今回の研究は、新エネルギー・産業総合開発機構(NEDO)の委託事業「ナノテク・先端部材実用化研究開発」の一環として行われた。