独Bosch Sensortec社は26日、小型・低消費電力で、割り込み機能などを自由にプログラムできる新開発の3軸加速度センサー「SMB380」についての記者説明会を行った。2007年1月からサンプル出荷を開始しており、6月には量産開始する予定。主に携帯電話をはじめとしたモバイル機器向けに展開して行く方針だ。

　Boschグループは、ディープ・エッチング技術として知られる「ボッシュ・プロセス」をはじめ、MEMS開発で18年以上の歴史を持つ。製品としては 1993年から、自動車の安全系向けに圧力センサー、エアバッグセンサー、ジャイロスコープなどを投入しており、06年までで累計6億個以上のセンサー生産実績があり、MEMS分野の特許も350以上所有している。生産工場は、前工程4,000m2、後工程4,200m2の規模で、09年には新規の200mmウエハーラインを稼動する予定。

　Bosch Sensortec社は、05年の設立と同時に自動車用途以外へのMEMSセンサーの製品展開を開始した。フランツ・メルツァCEOは「Boschは、 MEMS製品の開発と生産規模では世界トップの実績があり、今後拡大するMEMSセンサー市場に向けて、競争力のある価格で、大量に、短納期で製品を供給して行く。MEMSセンサーの用途は多くあるが、当面は携帯電話向けの展開に注力したい」と語る。

　SMB380は、デジタル出力式3軸加速度センサーの第2世代モデル。サイズは3.0×3.0×0.9mmで、MEMSセンサー、制御部のASICを共に小型化して、従来品から体積比で50%削減した。消費電力は、通常使用時200μA、スタンバイ時1μAと従来製品とほぼ変わらないが、センサー単体での自己感知動作により実現した「セルフウェイクアップ機能」を使えば、平均消費電力を10μA以下に抑えられる。

　最大の特徴は、セルフウェイクアップ機能とも関連する、センサー自身で動きを検知して割り込み信号を出力する機能。測定範囲±2g、±4g、±8g、フィルター周波数25～1500Hzのパラメータ範囲内での割り込み信号の発生について、機器メーカー自身で自由にプログラムできるので、落下検知にとどまらない様々な運動検知が可能になる。

　国内販売は、グローバル電子、シリコンテクノロジー、加賀電子が担当する。「世界全体ではすでに数100個レベルのサンプル受注があり、設計段階だが携帯電話での採用も決まっている」(メルツァCEO)という。
(朴尚洙)