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レーザーフロントテクノロジーズ、
国内最高出力のYV04レーザーを発売

[issued: 2007.03.27]

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SL186C-Vシリーズのレーザーヘッド

 レーザーフロントテクノロジーズは、Nd:YVO4(Yttrium Orthovanadate、イットリウム・バナデート)をレーザー結晶とした固体レーザーで国内最大出力・高繰り返し周波数を実現したレーザー発振器「SL186C-Vシリーズ」の販売を開始した。価格は2,200万円から。シリコン、サファイア、セラミック、高分子樹脂などの半導体、電子部品材料のレーザー加工用途に展開し、今後3年間で累計200台以上の販売を見込む。また4月11日~13日まで東京ビッグサイトで開催される「第17回ファインテック・ジャパン」に出展する予定だ。

 工業用加工に広く利用されているNd:YAG(Yttrium Aluminum Garnet、イットリウム・アルミニウム・ガーネット)固体レーザーは高出力だが、繰り返し周波数の上限が50kHz程度で高速加工に限界があった。一方でNd:YVO4レーザーは、繰り返し周波数が50kHzから200kHzと高いが、基本波である波長1064nmの赤外レーザーで10W、第2高調波(SHG)である波長532nmのグリーンレーザーで5Wクラスと出力が低く、マーキングなどに用途が限られていた。

 SL186C-Vシリーズは、レーザーの発振効率の改善と新しいQスイッチ素子の採用で、従来難しかった高出力化と高繰り返し周波数を実現した。赤外レーザーは、繰り返し周波数50kHz~200kHzで従来比2倍となる国内最大出力の20Wを達成した。グリーンレーザーでは出力10W(繰り返し周波数50kHz)、また第3高調波(THG)である波長355nmの紫外レーザーでも最大6W(繰り返し周波数50kHz)の高出力化を行っており、加工目的に合わせてのレーザー波長選択が可能だ。またパルス幅が10~40nsと短く、ピークパルス数10kWでの加工もできる。



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