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SUNX、0.1mmサイズの印字が可能なグリーンレーザーマーカーを発売

[issued: 2007.06.01]

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写真1 SUNXの グリーンレーザーマーカーLP-Gシリーズ

 SUNXは、独自の発振器構造の採用により、深さ10μm以下、文字サイズ0.1mmの極小印字が可能なグリーンレーザーマーカー「LP-Gシリーズ」を開発し、5月末から販売を開始した。市場想定価格は800万円。小型化の進む半導体パッケージや基板のマーキング用途に展開し、年間200台の販売を見込む。

 LP-Gシリーズは、レーザーに波長532nmのグリーンレーザーを採用している。通常のレーザーマーカーは、YAGレーザーの基本波である波長1,064nmの赤外レーザーを使用しているが、非線形光学結晶を使って波長を半分の532nmにしたグリーンレーザーは、熱影響が小さいことから高品質な印字・加工が可能になる。また、赤外レーザーでは吸収比率が低い金や銅への低出力での印字や、小さなレーザースポットによる極小印字や浅彫りも可能になる。

 グリーンレーザーの発振器は、一般的な直線構造ではなく、Qスイッチ、YVO4(イットリウムバナデート)結晶、非線形光学結晶を“コ”の字型に配置する独自の「QS構造」を採用した。QS構造は、発振器内部の反射ミラー間の距離が短いことからパルス幅が8ns(20kHz時)と短く、ピークパワーも37.5kWと高いので熱影響を小さく抑えることができる。一方で反射ミラー間の距離が短いと低くなる出力は、平均で6W(40kHz)を実現している。また発振器内部の温度制御を精密に行うことで、レーザー出力安定度を±2%以下にしている。またYVO4結晶を冷却しなくても安定してレーザー発振できるので、冷却装置が不要になった。

 レーザー出力を光学的に制御するオプティカル ビーム スタビライザー(OBS)で、電流制御よりも均一性を高め、ガルバノ制御の高精度化により0.1mmの極小印字も実現した。他の仕様は、レーザーのスポット径が30μm、スキャン速度が毎秒8,000mmとなっている。


図1 QS構造発振器



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