三菱電機は、実用的な150mm角の多結晶シリコン太陽電池セルで、世界最高の光電気変換効率となる18％を達成した。同社では従来16.8％が最高だった。ナノサイズのマスク材料を受光面の低反射化に活用し、電極生成時間の短縮と集電用グリッド電極の細線化などを行うことで、従来と同一面積からの発電量が7％増えた。2007年末以降にこの技術を太陽電池モジュールに導入し、高変換効率のパワーコンディショナと組み合わせた太陽光発電システムを製品化する。

　ナノサイズのマスク材料は、プラズマ化したエッチングガス中のイオンを被処理物にぶつけて反応させるRIE(反応性イオンエッチング)プロセスで、受光面の反射を抑えて光の取り込み量の増加させる役割を果たす。さらに有効発電面積を拡大するために集電用グリッドを従来より40％細線化し、新電極材料を採用して従来6時間要したセル電極の焼成時間を半減し多結晶シリコンの電気性能の低下を抑えた。

　なお、ナノサイズのマスク材料を使ったRIEプロセスについては、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)委託の「革新的次世代太陽光発電システム技術研究開発プロジェクト」の開発成果を利用している。また07年12月に福岡で開催される「17th International Photovoltaic Science and Engineering Conference」で成果発表を行う予定だ。